無塵室按等級(jí)劃分
1級(jí)
這個(gè)級(jí)別的無塵室主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),對(duì)集成電路的要求為亞微米。
10級(jí)這個(gè)級(jí)別的無塵室主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
100級(jí)很多人認(rèn)為,
這一級(jí)無塵室是常用因而是重要的無塵室,人們常常錯(cuò)誤地將100級(jí)潔凈室稱為無菌室,以說明“無菌”的或“無塵”的環(huán)境要求,100級(jí)無塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝等,這一潔凈室大量應(yīng)用于,植如體內(nèi)物品的制造,外科手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對(duì)細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療。
1000級(jí)這個(gè)級(jí)別的無塵室主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測(cè)試,裝配飛機(jī)蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等。
10000級(jí)
萬級(jí)無塵室用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬級(jí)無塵室在醫(yī)工業(yè)中也很常用。
100000級(jí)
十萬級(jí)無塵室用于很多的工業(yè)部門,比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn),醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級(jí)無塵室。